Products
YAC
YAC 退火機
- 特點
- 目前在台應用機種 –YHR系列快速升溫退火爐(RTA)。
- 可應用於Amorphous silicon film、μ-C膜結晶(SPC)工程。
- 快速的升溫/降溫控制: 每秒4℃ (升溫) 、每秒1 ℃(降溫)。
- 機台零件販售。
- 機台現場維修服務。
- 機台軟體/硬體改造服務。
產品介紹
快速升溫退火爐 (RTA) 為面板廠生產 高品質LTPS不可或缺的設備。
電話：03-5576060
E-mail：sandy_peng@lightwing.com.tw