YAC 退火機

特點: 目前在台應用機種 –YHR系列快速升溫退火爐(RTA)。; 可應用於Amorphous silicon film、μ-C膜結晶(SPC)工程。; 快速的升溫/降溫控制: 每秒4℃ (升溫) 、每秒1 ℃(降溫)。; 機台零件販售。; 機台現場維修服務。; 機台軟體/硬體改造服務。

快速升溫退火爐 (RTA) 為面板廠生產高品質LTPS不可或缺的設備。

商品諮詢聯絡人：彭子茜電話：03-5576060

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