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YAC
YAC 乾蝕刻機
- 特點
- 目前在台量產 - G3.5 / G4 / G4.5 / G5 / G5.5 / G6 / G7.5 /G8.6 乾蝕刻機。
- 機台所有零件的販售。
- 零件的維修服務 – RF Generator，Matching Box，Chiller，Gate Valve，Chiller，Vacuum Robot。
- 機台現場的維修服務。
- 機台軟體/硬體改造需求。
