Maintenance Service
CHILLER
- 特點
- SMC THERMO CON系列、
- MPC系列 (Advantest機台)、
- SHINWA系列、RISSHI系列、
- AQUA系列、ATS系列、NESLAB系列
- 其它機種, 請洽事業二部營業人員
介紹
本公司代理日本MPC 及 SMC chiller ；對於各廠牌運用於半導體及LCD製程之chiller均有豐富的維修經驗與實績。
商品諮詢聯絡人：
范暐 電話：0928-884765 / 鍾惠玲 電話：0930-084006
Power Supply HV-PS8 HV PS4
- 特點
- 提供E-Chuck作為Wafer靜電吸附
- 機台：TEL Vigus 機台使用
- 客群：TSMC & UMC
介紹
2020年已成為TSMC合格供應商半導體 Kyosan Power Supply PS8 & PS4 維修.
商品諮詢聯絡人：
范暐 電話：0928-884765 / 鍾惠玲 電話：0930-084006
使用之物件測試設備：
CKD 調壓閥維修
- 特點
- 請洽事業二部營業人員
介紹
應用於EBARA CMP機台、維修及調教，客群：TSMC商品諮詢聯絡人：
范暐 電話：0928-884765 / 鍾惠玲 電話：0930-084006
閥門
- 特點
- 維修閥門：Pendulum Valve、Butterfly Valve、Gate Valve、Angle Valve、APC Valve
- 維修廠牌： VAT, SMC, NC, MDC, MKS, CKD…等等。
介紹
本公司針對真空系統所使用各廠牌及型式之閥門皆提供相關維修服務。為提升維修品質所有閥門組裝皆在潔淨室進行。完修後檢測除一般動作測試及He測漏外；並針對壓力控制用途之閥門設有相關治具(MFC&PUMP&腔體)，於維修後進行實際控壓測試；以減少上機後再發生問題之機率。商品諮詢聯絡人：范暐 電話：0928-884765 / 鍾惠玲 電話：0930-084006
ROBOT
- 特點
- MHI ROBOT
- DAIHEN ROBOT
- JEL ROBOT
介紹
ROBOT O/H。ROBOT 檢修。
ROBOT TEACHING。
ROBOT 組立後的精度調整及測試作業。
商品諮詢聯絡人：彭子茜 電話：03-5576060 #112
E-Chuck 再生技術
介紹
陶瓷熔射
電漿溶射，如圖所示，係氣體（氬、氫、氮、氦）離子化之後所產生的高熱現象，換句話說也就是電能激發氣體，轉變為熱能現象，中心區域所產生的電弧溫度可達12000°C。 電弧形成之後，再將粉末注入到火焰中心， 使其溶化並以約300米/每秒的高速撞擊工件表面（母材）而形成塗層（Coatings）。
下部電極, 上部電極, 腔室遮板
面板產業 G4.5-G10
材質： AL2O3/Y2O3
商品諮詢聯絡人：
陳勝健 電話 : 06-2704321 #228 / 陳達仁 電話 : 0921-786-214
