YAC-Dry Etcher
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介紹:
YAC-Dry Etcher
介紹:YAC-Dry Etcher
規格:
- 目前在台量產 - G3.5 / G4 / G4.5 / G5 / G5.5 / G6 / G7.5 /G8.6 乾蝕刻機。
- 機台所有零件的販售。
- 零件的維修服務 – RF Generator，Matching Box，Chiller，Gate Valve，Chiller，Vacuum Robot。
- 機台現場的維修服務。
- 機台軟體/硬體改造需求。
更多項目
YAC-Wet Etcher
目前量產G6/G8.5濕蝕刻機。機台所有零件販售。機台現場維修服務。機台軟體/硬體改造需求。
YAC-Anneal
● 目前在台應用機種 –YHR系列快速升溫退火爐(RTA)。● 可應用於Amorphous silicon film、μ-C膜結晶(SPC)工程。● 快速的升溫/降溫控制: 每秒4℃ (升溫) 、每秒1 ℃(降溫)。● 機台零件販售。● 機台現場維修服務。● 機台軟體/硬體改造服務。
YAC-Solar Texture Tool
目前在台應用機種 –P-Mono 6TEX。 可應用於不同種類的Wafer: 1. Single Crystal Wafer Texture: Pre Clean > Alkali Texture2. Polycrystal Wafer Texture: Pre Clean > Acid Texture 利用自動傳送卡匣快速生產: 200 wfs/hr。 機台現場維修服務。 機台零件報價與販售。 機台零件維修服務。 機台軟體/ 硬體改造需求。
AMAYA-APCVD
目前主力應用機種 - AMAX800V (8吋) 與 MAX1200 (12吋)大氣化學氣相沉積設備 可應用於各式沉積膜之不同機種，如:SiO2、BPSG、BSG、PSG、AlOx。 可在200℃ 到500℃ 的溫度範圍進行沉積膜製程。 機台零件販售。 機台現場維修服務。 機台軟體/硬體改造服務。
PSC-Stripper/Asher
6” / 8” 去光阻機台(Batch Type / Single Type)。 機台所有零件的販售。 零件的維修服務 – Matching Box, PCB, Valve, PLC。 機台現場的維修服務。 機台軟體/硬體改造需求。
PACK-Stripper/Asher
適合半導體實驗需求或小批量生產之去光阻用途。設備販售與安裝。零件販售與維修服務-Matching Box, RF G, Valve, PLC。設備維修與服務。設備軟體與硬體改造需求。
MHI-Vacuum Robot
G6 Robot G7.5 Robot 目前在台應用於 YAC G6 與 G7.5 乾蝕刻機之真空手臂。 亮雲提供G6 與G7.5 Robot 專業維修保養及拆裝的服務。
V-tex Gate valve
應用於TFT LCD G3 / G3.5 / G4 / G5 / G5.5 / G6 世代。型式:TwinRollcam Gate Valve Twincam Gate Valve MultiRollcam Gate Valve。
