• 目前在台應用機種 –P-Mono 6TEX。
  
• 
  可應用於不同種類的Wafer:

1. Single Crystal Wafer Texture: Pre Clean > Alkali Texture
2. Polycrystal Wafer Texture: Pre Clean > Acid Texture

• 
  利用自動傳送卡匣快速生產: 200 wfs/hr。
  
• 機台現場維修服務。
• 機台零件報價與販售。
• 機台零件維修服務。
• 機台軟體/ 硬體改造需求。