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MHI-Vacuum Robot
MHI-Vacuum Robot
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名稱:
MHI-Vacuum Robot
介紹:
MHI高精密玻璃基板傳送裝置,目前運用於
TFT LCD
設備。
規格:
G6 Robot
G7.5 Robot
目前在台應用於 YAC G6 與 G7.5 乾蝕刻機之真空手臂。
亮雲提供G6 與G7.5 Robot 專業維修保養及拆裝的服務。
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YAC-Dry Etcher
目前在台量產 - G3.5 / G4 / G4.5 / G5 / G5.5 / G6 / G7.5 /G8.6 乾蝕刻機。 機台所有零件的販售。 零件的維修服務 – RF Generator,Matching Box,Chiller,Gate Valve,Chiller,Vacuum Robot。 機台現場的維修服務。 機台軟體/硬體改造需求。
YAC-Wet Etcher
目前量產G6/G8.5濕蝕刻機。機台所有零件販售。機台現場維修服務。機台軟體/硬體改造需求。
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