● 目前在台應用機種 –YHR系列快速升溫退火爐(RTA)。
● 可應用於Amorphous silicon film、μ-C膜結晶(SPC)工程。
● 快速的升溫/降溫控制: 每秒4℃ (升溫) 、每秒1 ℃(降溫)。
● 機台零件販售。
● 機台現場維修服務。
● 機台軟體/硬體改造服務。