AMAYA-APCVD

名稱:

AMAYA-APCVD

介紹:

大氣化學氣相沉積設備 (AP-CVD)，廣泛運用於Semiconductor 與Solar Cell。

商品諮詢聯絡人:彭子茜 電話: 03-5576060  #112

更多介紹

 

規格:
  • 目前主力應用機種 - AMAX800V (8吋) 與 MAX1200 (12吋)大氣化學氣相沉積設備
  • 可應用於各式沉積膜之不同機種，如:SiO2、BPSG、BSG、PSG、AlOx。
  • 可在200℃ 到500℃ 的溫度範圍進行沉積膜製程。
  • 機台零件販售。
  • 機台現場維修服務。
  • 機台軟體/硬體改造服務。

更多項目

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